Precizne razdelbe – osnova za visoko točnost
Srce HEIDENHAINOVIH merilnih naprav je merilni standard, ponavadi v obliki mrež s tipičnimi linijami širine od 0,25 µm do 10 µm. Te precizne mreže se izdelujejo s procesom, ki ga je iznašel HEIDENHAIN ( npr. DIADUR ali AURODUR ) in je odločilen za delovanje in točnost merilnih naprav. Sestavljene so iz črt in presledkov, katerih definirani razmiki kažejo minimalna odstopanja in katerih struktura ima zelo ostre robove. Te razdelbe so odporne na mehanske in kemične vplive, so neobčutljive na vibracije in šoke, ter imajo definirano termično vedenje.
Fazne mreže | Posebni proizvodni proces omogoča proizvodnjo trodimenzionalne strukturne razdelbe, ki imajo posebne lastnosti. Širina strukture leži v območju nekaj od mikronov, pa do četrtine mikrona. |
SUPRADUR | Razdelbe proizvedene s SUPRADUR procesom delujejo optično kot trodimenzionalne fazne mreže, vsebujejo pa planarno strukturo in so zato posebej neobčutljive na umazanijo. |
MAGNODUR | Tanke magnetno aktivne plasti v območju mikrona so struktuirane za zelo fine, magnetizirane razdelbe. |
DIADUR | DIADUR precizne razdelbe so realizirane z ekstremno tankimi plastmi kroma na nosilcu – ponavadi steklo ali steklokeramika, pri čemer točnost razdelbe strukture leži v območju mikrona in navzdol. |
AURODUR | AURODUR razdelbe sestojijo iz visoko odbojnih zlatih linij in motno jedkanih vrzeli. Ponavadi se nanašajo na jeklene nosilce |
METALLUR | METALUR razdelbe imajo zaradi svoje specialne optične sestave iz odbojnih zlatih plasti skoraj planarno strukturo. Zato so posebej neobčutljive na umazanijo. |